天然水中通常含有五種雜質：1.電解質，常見的陽離子有H+、Na+、K+、NH4+、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、Mn2+、Al3+等;陰離子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等。2.有機物，如有機酸、農藥、烴類、醇類和酯類等。3.顆粒物。4.微生物。5.溶解氣體，包括N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等。所謂水的純化，就是要去除這些雜質，雜質去除得越徹底，水質也就越純凈。

　　1. 蒸餾水：就是將水加熱汽化、冷凝下來的水，蒸二次的叫重蒸水，蒸三次的叫三蒸水。有時候為了特殊目的，在蒸前會加入適當試劑，如為了制備無氨水，會在水中加酸;制備低耗氧量的水，需加入高錳酸鉀與酸等。工業(yè)蒸餾水是采用蒸餾方法取得的純水，一般普通蒸餾取得的水純度不高，經過多級蒸餾出水才可達到很純，成本相對比較高。

　　2. 去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂(常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂)，則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H+被置換到水中，并和水中的陽離子組成相應的無機酸;含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂(常用的為苯乙烯型強堿性陰離子)OH-被置換到水中，并和水中的H+結合成水，此即為去離子水。去離子水在現代工業(yè)中有著非常廣泛的用途，使用去離子水，是我國很多行業(yè)提高產品質量的、趕超世界先進水平的重要手段之一。 由于去離子水中的離子數可以被人為地控制，從而使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細菌等物理、化學及病理等指標均得到良好的控制。在工業(yè)生產及實驗室的實驗中，如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那么，許多參數會更接近設計或理想數據，產品質量將變得易于控制。

　　3. 高純水，是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用最普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。在純水的制作中，水質標準所規(guī)定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發(fā)展，新的儀器和新分析方法的不斷應用都為制水工藝的發(fā)展創(chuàng)造了條件。高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

　　高純水(high-purity water)是化學純度極高的水，其中雜質的含量小于0.1mg/L。目前人們制成的高純水的純度已經達到99.999999%，其中雜質含量低于0.01mg/L。高純水主要指水的溫度為25℃時電導率小于0.1μS/cm，pH值為6.8~7.0以及去除其他雜質(如顆粒、膠體、溶解氣體、有機物)和細菌的水。高純水是指將水中的導電介質幾乎全部去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體和有機物均去除至很低程度的水，高純水的含鹽量在0.3mg/L以下，電導率小于0.2μs/cm。

　　4. 超純水，則可以認為是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項征性指標，如電導率或電阻率、PH值、鈉、重金屬、二氧化硅、溶解有機物、微粒子以及微生物指標等。